結合掃描電鏡（SEM）與拉曼光譜進行多模態成像可以提供樣品的形貌、元素分布及分子結構等多方面的信息，增強對樣品的了解。以下是如何進行這種結合的詳細步驟和技巧：

1. 基本原理和設備準備

原理

SEM：主要提供樣品的形貌和成分信息，通過二次電子（SE）、背散射電子（BSE）等成像模式。

拉曼光譜：提供樣品的分子結構和化學成分信息，通過檢測樣品中不同位置的拉曼散射光譜。

設備準備

SEM：確保SEM正常運行，真空度達到要求。

拉曼光譜儀：校準拉曼光譜儀，確保激光光源和探測器正常工作。

多模態成像系統：配備能夠結合SEM和拉曼光譜的系統，或通過樣品轉移進行結合分析。

2. 樣品準備

樣品固定和導電處理

清潔：確保樣品表面清潔。

導電處理：對于非導電樣品，進行導電涂層處理，以減少SEM成像時的充電效應。

樣品安裝

固定：將樣品固定在樣品臺上，確保穩固不動。

對準：確保樣品在SEM和拉曼光譜儀的觀測位置一致，以便多模態成像時定位準確。

3. SEM成像

低倍率觀察

初步觀察：選擇低倍率（如50x-100x）進行初步觀察，確定樣品的大致位置和形貌。

記錄圖像：保存低倍率圖像，作為參考。

高倍率成像

細節觀察：逐步提高倍率到中高倍率（如500x-5000x），觀察樣品的細節和特征。

多模式成像：使用二次電子（SE）和背散射電子（BSE）模式，獲取不同對比度的信息。

選定區域

選定感興趣區域：在高倍率下選定感興趣的區域，標記用于后續的拉曼光譜分析。

4. 拉曼光譜分析

樣品轉移（如需要）

從SEM轉移到拉曼光譜儀：如果設備不具備集成多模態成像功能，需將樣品從SEM轉移到拉曼光譜儀，并確保定位一致。

拉曼光譜測量

激光光源選擇：選擇合適的激光波長，根據樣品的性質和目標分子。

對準樣品：將激光對準先前在SEM中標記的感興趣區域。

光譜采集：調整激光功率和曝光時間，采集該區域的拉曼光譜。

成像模式：如果光譜儀支持拉曼成像，可在感興趣區域進行拉曼圖像掃描，獲得分子分布圖。

5. 數據處理與融合

圖像處理

SEM圖像處理：對SEM圖像進行處理和增強，提高細節清晰度。

拉曼光譜處理：對拉曼光譜進行基線校正、去噪和峰擬合，提取定量信息。

數據融合

圖像配準：將SEM圖像與拉曼光譜或拉曼圖像進行配準，確保空間位置一致。

多模態疊加：將拉曼圖像疊加到SEM圖像上，形成多模態成像結果。

6. 結果分析與報告

綜合分析

形貌與化學信息結合：結合SEM的形貌信息和拉曼光譜的化學信息，對樣品進行綜合分析。

特征識別：識別樣品中的不同成分和結構特征，確定其分布和關聯。

報告生成

圖像與數據整合：將SEM圖像和拉曼光譜數據整合在一份報告中，提供分析結果。

結果解釋：詳細解釋每個成像和光譜數據的意義，結合實際應用需求。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡如何結合拉曼光譜進行多模態成像的介紹。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢