掃描電鏡圖像出現亮度忽明忽暗，多數與電子槍發射電流不穩定有關。無論是鎢燈絲、LaB?，還是場發射源，都可以按以下順序排查。

一、先確認是否為電子槍問題

如果圖像的亮度整體閃爍，而掃描線和放大倍率均正常，基本可判斷為電子槍不穩，而不是樣品充電或掃描系統問題。

二、檢查電子槍類型對應的典型故障

鎢燈絲

燈絲老化或接近壽命時容易閃爍。若亮度難以穩定、Emission Current 波動大，建議直接更換燈絲。若燈絲電流設定過高，也會導致不穩，可適當降低至推薦區間并等待數分鐘使電子槍重新穩定。此外，若真空略有惡化，也會使燈絲發射不穩，需要檢查泵維護和真空度。

LaB?

LaB? 對污染較敏感。若出現閃爍，可先提升加熱溫度進行自清潔。若清潔后仍不穩，則可能是晶體表面污染嚴重，需要更換 LaB? 源。同時檢查槍室真空是否達標。

場發射源（FEG）

FEG 對真空要求高。若 gun chamber 真空波動，亮度會立即閃爍，應先查看離子泵是否正常、N? trap 是否工作、系統是否剛開艙。必要時運行電子槍“再生/穩定”程序。如果 emission current 持續漂移，則可能需要工程師處理或更換 emitter。

三、檢查電源與接地狀況

電源波動會直接造成 HV 不穩，從而引起亮度閃爍。可更換到穩壓電源或獨立供電線路測試。同時檢查接地是否良好，接地不良會放大高壓噪聲。

四、系統性問題

若所有上述情況均排除，則可能是 HV 模塊老化、槍室溫度波動、電子槍電源噪聲等，需要工程師進一步檢查。