掃描電鏡圖像出現(xiàn)拖影，一般不是單一部件壞了，而是掃描、電子束或樣品狀態(tài)不穩(wěn)定造成的，常見問題集中在這幾類：

掃描速度過慢或過快：過慢時樣品充電或漂移會被完整記錄，過快時信號響應跟不上，也會拉出尾巴。

樣品充電效應：不導電或接地不良，電子束掃過后電荷殘留，會在掃描方向上形成亮暗拖尾。

樣品或臺面漂移：熱漂移、真空變化或樣品未固定牢，長時間掃描時圖像會被拉伸。

電子束穩(wěn)定性差：燈絲老化、束流波動或高壓不穩(wěn)，信號強度隨時間變化，就表現(xiàn)為拖影。

探測器或放大器響應慢：信號電路帶寬不足，亮度變化跟不上掃描節(jié)奏，會產(chǎn)生“尾跡”。

外界振動或電磁干擾：振動或干擾沿掃描方向被積分，同樣會形成拖影效果。