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掃描電鏡掃描時出現干擾條紋是什么原因?

日期:2025-08-01

掃描電鏡(SEM)成像時出現干擾條紋,通常是由于外部干擾、電氣系統異常或樣品問題引起的。這些條紋可能呈現為周期性橫紋、斜紋、閃爍或拖影,嚴重時會嚴重影響圖像清晰度和分辨率。

下面是常見原因及對應解釋:

一、外部電磁干擾

1. 電源干擾

由實驗室供電不穩定、接地不良、電壓波動引起;

表現為周期性條紋或圖像閃動;

尤其在與 SEM 共用線路的設備(如壓縮機、熒光燈)啟動時更明顯。

2. 強電設備干擾

SEM 附近存在大功率電機、空調、電焊機、離子泵等;

這些設備產生的電磁場可干擾掃描系統;

可能出現周期性水平條紋或模糊斜線。

3. 無線信號/手機干擾

高靈敏度 SEM 對附近手機、Wi-Fi 或無線電波也可能敏感;

干擾條紋多為不規則閃動或圖像跳動。

二、掃描控制系統問題

1. 掃描信號不穩定

若主板或控制模塊的模擬信號通道不穩定,可能導致圖像出現周期性擾動;

常見于老舊設備或長期運行后的電子控制老化。

2. 接地不良

設備接地線松動或電勢不均,會引起電子束不穩定;

圖像可能出現類似“波紋”或拉伸。

3. 電纜接觸不良

探測器線纜松動、屏蔽破損或插頭接觸不良,會引發圖像干擾;

條紋可能隨時間變化而閃爍或變寬。

三、樣品因素

1. 樣品帶電

不導電樣品或未噴鍍導電層的樣品,易積累電荷,導致電子束偏轉;

會出現不規則的亮暗條紋、波動或“拖影”;

特別是在放大倍率較高時更明顯。

2. 樣品移動或不穩定

樣品未固定牢固,在掃描時輕微振動;

圖像條紋可能伴隨輕微“錯位”或重復重影。

四、環境振動干擾

SEM 對微小振動非常敏感;

若地面不穩、臺架無減振、鄰近有震動源(如走動、升降梯),可能導致條紋或圖像漂移。


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作者:澤攸科技