掃描電鏡（SEM）圖像采集過(guò)程中是可以實(shí)時(shí)調(diào)參的，而且這是實(shí)際操作中非常重要的一部分。操作員通常會(huì)在觀察圖像的同時(shí)，實(shí)時(shí)調(diào)整參數(shù)來(lái)優(yōu)化成像效果。

可以實(shí)時(shí)調(diào)整的主要參數(shù)包括：

1. 焦距

實(shí)時(shí)調(diào)整以獲取清晰圖像；

常配合放大倍數(shù)同步微調(diào)。

2. 像差校正

用于修正電子束的非對(duì)稱模糊；

實(shí)時(shí)調(diào)整，改善圖像清晰度，尤其在高倍率下非常關(guān)鍵。

3. 工作距離

可通過(guò)調(diào)整樣品臺(tái)高度（Z 軸）或電鏡柱的位置進(jìn)行；

會(huì)影響圖像清晰度、景深和分辨率，實(shí)時(shí)微調(diào)以找適合焦面。

4. 加速電壓

實(shí)時(shí)切換不同電壓（如 1 kV、5 kV、10 kV）觀察材料不同深度或抑制帶電；

影響圖像穿透力、對(duì)比度和信號(hào)強(qiáng)度。

5. 探測(cè)器切換與信號(hào)通道選擇

實(shí)時(shí)切換 SE（次級(jí)電子）/ BSE（背散射電子）/ EDS 等通道；

比較不同圖像效果，選擇適合的成像方式。

6. 對(duì)比度與亮度

實(shí)時(shí)調(diào)整增強(qiáng)圖像可視性；

不影響實(shí)際圖像結(jié)構(gòu)，但會(huì)改善觀察體驗(yàn)。

7. 掃描速度或積分模式

快速掃描用于快速定位；

慢速掃描用于最終采圖，可實(shí)時(shí)切換觀察圖像變化。

8. 放大倍數(shù)

可連續(xù)調(diào)節(jié)放大倍數(shù)，邊觀察邊調(diào)整焦點(diǎn)與像差。

9. 電子束偏轉(zhuǎn)

實(shí)時(shí)調(diào)整圖像位置，使目標(biāo)居中，方便觀察或拍照。