在掃描電子顯微鏡中，電子束與樣品之間存在多種相互作用，這些相互作用產(chǎn)生的信號(hào)被用于生成樣品表面的圖像。以下是主要的電子束與樣品相互作用過(guò)程：

彈性散射：

這是基本的相互作用過(guò)程，其中入射的高能電子與原子核或電子云相互作用，導(dǎo)致電子的方向發(fā)生改變，但其能量保持不變。這不會(huì)直接產(chǎn)生圖像，但可以提供有關(guān)樣品的一些結(jié)構(gòu)信息。

非彈性散射：

在非彈性散射中，入射電子與樣品中的原子或電子發(fā)生相互作用，導(dǎo)致電子喪失或獲得能量。這些能量損失的電子稱(chēng)為散射電子，它們可以提供有關(guān)樣品組成的信息。

二次電子發(fā)射：

當(dāng)高能電子與樣品表面原子相互作用時(shí)，可能會(huì)引起表面原子中的一個(gè)或多個(gè)電子被釋放出來(lái)，形成稱(chēng)為二次電子的電子。這些二次電子是生成SEM圖像的主要信號(hào)。不同材料的表面形貌差異可以通過(guò)捕捉和檢測(cè)二次電子來(lái)可視化。

反射電子：

部分入射電子可能會(huì)經(jīng)歷彈性散射并以較高的能量返回，這些被稱(chēng)為反射電子。這些電子的能量與樣品的原子序數(shù)有關(guān)，因此可以提供有關(guān)樣品組成的信息。

這些相互作用過(guò)程產(chǎn)生的不同信號(hào)通過(guò)探測(cè)器捕獲，并轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，然后用于生成圖像。通過(guò)掃描電子束并記錄不同位置的信號(hào)，可以形成高分辨率的表面形貌圖像。這種圖像提供了關(guān)于樣品表面微觀結(jié)構(gòu)和組成的詳細(xì)信息。

ZEM20臺(tái)式掃描電鏡

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡的成像中電子束如何與樣品相互作用。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請(qǐng)咨詢(xún)