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掃描電鏡的探測器類型和性能有哪些?

日期:2023-07-07

掃描電子顯微鏡(SEM)使用不同類型的探測器來測量和探測樣品表面產生的信號。每種探測器具有不同的性能特點,適用于不同的應用和需求。以下是一些常見的SEM探測器類型和性能特點:

后向散射電子探測器(BSE):

特點:測量和檢測從樣品表面散射的高能電子。BSE信號與樣品的原子序數有關,可提供對樣品組成和形貌的信息。

優點:較高的信號強度,對不導電樣品有較好的靈敏度,可提供高對比度的圖像。

限制:BSE信號與表面拓撲關系密切相關,可能受到拓撲效應的影響。

后向散射探測器(BSE2):

特點:類似于BSE,但BSE2探測器使用多個探測器接收不同能量范圍的BSE信號,提供更豐富的信號信息。

優點:提供更廣泛的信號能量范圍,可用于增強對比度和分析樣品成分。

二次電子探測器(SE):

特點:測量和檢測從樣品表面發射的次級電子。SE信號與樣品的表面拓撲和導電性有關,可提供表面形貌和細節信息。

優點:高分辨率的表面拓撲信息,對導電和非導電樣品均可使用。

限制:信號強度較低,不適用于化學成分分析。

透射電子探測器(STEM):

特點:透射電子探測器用于透射電子顯微鏡(TEM),可測量和檢測從樣品透射的電子。STEM信號可提供樣品的原子尺度結構和成分信息。

優點:高分辨率的原子級成像和分析,能夠獲得元素的能量色散譜(EDS)。

ZEM18臺式掃描電鏡

ZEM18臺式掃描電鏡

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡的探測器類型和性能。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢 


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作者:澤攸科技