掃描電鏡（SEM）低真空模式適用于不導電或弱導電樣品、易充電材料以及含水或易揮發物質的樣品。不同品牌 SEM 對低真空模式的參數和工作壓力范圍略有不同，因此選擇時需結合設備規格和實驗要求。

低真空模式通過在樣品腔體保留少量氣體（通常氮氣或空氣）來中和電子束照射產生的電荷，從而減少絕緣樣品表面充電效應。這使得未鍍導電膜的生物組織、聚合物、陶瓷、礦物以及粉末材料等可以直接觀察，無需復雜前處理。

同時，低真空模式對含水或易揮發的樣品也較友好，因為氣體環境可以部分抑制水分快速蒸發或樣品干縮。對于某些薄膜或柔性材料，也能減少高真空條件下的結構變形。

需要注意的是，低真空模式下成像分辨率通常略低于高真空模式，尤其在納米級分辨率要求的實驗中，需要權衡分辨率與樣品保護之間的關系。