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掃描電鏡的結構組成

日期:2023-02-28

掃描電鏡是一種利用高能電子束與樣品相互作用,產生反射、透射、散射等信號,通過信號的捕捉與分析,獲取樣品表面形貌、成分和結構等信息的儀器。它的結構組成包括以下幾個主要部分:

電子槍:產生高能電子束的部分,通常由熱陰極或場發(fā)射陰極構成,可以控制電子束的亮度和聚焦效果。

操作系統(tǒng):包括控制臺、屏幕、鍵盤、鼠標等,用于對SEM的各項參數(shù)進行設定、控制和調整。

樣品臺:用于固定待觀察的樣品,并提供旋轉、傾斜等操作,以便不同角度下的觀察。

掃描線圈:通過控制掃描線圈的電流,產生磁場,控制電子束的掃描路徑,從而實現(xiàn)對樣品表面的掃描。

探測器:用于捕捉樣品表面反射、透射、散射等信號,并將信號轉化為電信號傳輸給圖像處理系統(tǒng)。

圖像處理系統(tǒng):將信號轉化為數(shù)字信號,進行放大、增強、濾波等處理,產生高質量的SEM圖像。

顯示器和存儲器:用于顯示處理后的圖像和存儲SEM圖像數(shù)據(jù)。

掃描電鏡.jpeg

ZEM15臺式掃描電鏡能譜一體機

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作者:澤攸科技