掃描電鏡（SEM）是利用電子束與樣品相互作用來成像的一種顯微鏡。其成像原理可以簡述為以下幾個(gè)步驟：

電子束的發(fā)射：SEM中的電子槍通過加熱陰極，使其發(fā)射出高速電子束。這些電子被聚焦和加速，形成高能電子束，進(jìn)入掃描線圈，通過掃描線圈的變化，實(shí)現(xiàn)對樣品表面的掃描。

樣品表面的相互作用：電子束掃描到樣品表面時(shí)，會(huì)與樣品原子產(chǎn)生相互作用，如散射、反射、透射等。這些作用會(huì)產(chǎn)生一系列信號(hào)，包括二次電子（SE）信號(hào)、回散電子（BSE）信號(hào)、X射線、次級(jí)離子（SI）等。

信號(hào)的檢測和轉(zhuǎn)換：SEM中設(shè)有相應(yīng)的探測器，可以接收上述不同信號(hào)。其中，SE信號(hào)主要由二次電子探測器接收，BSE信號(hào)主要由回散電子探測器接收。探測器將信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，并通過電路放大和處理，輸出到顯示器上。

形成圖像：顯示器顯示出經(jīng)處理后的信號(hào)，形成樣品表面的圖像。SEM圖像中的亮暗和顏色反映了樣品表面的不同性質(zhì)和成分，如SE信號(hào)主要反映表面形貌，BSE信號(hào)反映樣品的化學(xué)成分和密度等信息。

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