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澤攸科技ZEM系列臺(tái)式掃描電鏡在多層結(jié)構(gòu)脈沖激光處理研究中的應(yīng)用探索

硅碳化物(SiC)作為一種具有前景的材料,在功率電子學(xué)領(lǐng)域中扮演著重要角色,尤其在SOI(硅上的絕緣體)結(jié)構(gòu)上生長(zhǎng)的SiC層,對(duì)于創(chuàng)建二極管結(jié)構(gòu)、微電機(jī)系統(tǒng)(MEMS)和光電子設(shè)備具有特別的意義。

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