在掃描電鏡中，放大倍率的正確使用關(guān)系到分辨率、視場范圍和成像可靠性。合理選擇倍率，能避免誤判細(xì)節(jié)并提高成像效率。

從低倍開始逐級放大

先用低倍率尋找目標(biāo)區(qū)域，再逐步提高倍率。

直接高倍容易迷失目標(biāo)，也更容易受到漂移和充電影響。

倍率與分辨率要匹配

放大倍率提高并不等于分辨率提高。

若圖像細(xì)節(jié)模糊，說明倍率已超過當(dāng)前束斑尺寸和成像條件的有效范圍。

高倍下縮小視場、降低掃描速度

高倍率時視場變小，應(yīng)適當(dāng)降低掃描速度、增加積分，以減少噪聲和抖動。

結(jié)合加速電壓和工作距離調(diào)整

高倍率成像通常配合較短工作距離和合適的電子束能量。

加速電壓過高可能增加樣品損傷或充電效應(yīng)。

注意倍率標(biāo)定與對比參考

不同模式下倍率可能存在偏差，精確測量應(yīng)依賴標(biāo)尺而非倍率數(shù)值本身。