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掃描電鏡如何找到想要觀察的位置?

日期:2025-11-18

以下是掃描電鏡幾種核心方法和操作技巧,結合使用可以找到目標:

核心方法:由粗到精,逐級定位

第一步:宏觀定位(用眼睛和光學顯微鏡)

做好樣品標記: 這是重要的一步!在制備樣品時,就要用特殊標記來圈定你感興趣的區域。

金剛筆刻劃: 在樣品臺或樣品邊緣用金剛筆刻劃一個箭頭或方框,指向目標區域。

導電膠帶定位: 粘貼樣品時,讓導電膠帶的一角靠近你的目標。

激光打標/FIB標記: 對于要求高的樣品,可以使用聚焦離子束(FIB)或激光在目標周圍刻上微米級的定位符號(如十字線)。

利用樣品本身特征: 記住目標區域相對于樣品邊緣、裂痕、明顯大顆粒等獨特宏觀特征的位置。

使用光學導航系統:

現代掃描電鏡都配有內置的光學顯微鏡(導航相機)。

先將樣品臺移動到你能用肉眼從窗口看到樣品大致位置。

然后切換到光學顯微鏡模式,在電腦屏幕上觀察。光學顯微鏡的視野大(通常是厘米/毫米級),可以輕松找到你之前做的標記。

在光學視野中,將你的目標區域移動到屏幕中央的十字線位置。

第二步:電鏡低倍率搜尋

切換到電鏡模式,使用低電壓和低倍率:

從非常低的加速電壓(如5kV)和低倍率(如50x - 200x)開始抽真空并成像。

為什么用低倍率? 因為倍率越低,視野越大,尋找速度越快,而且對未噴金的非導電樣品損傷小。

此時,你會在電鏡圖像中看到你在光學顯微鏡下定位的那個標記(如刻痕或膠帶邊緣)。

“地標”導航法:

將標記(如刻痕)當作“地標”。

以這個地標為起點,像看地圖一樣,沿著你記憶中目標的方向,小幅度、緩慢地移動樣品臺。

一邊移動,一邊觀察屏幕,尋找下一個明顯的“地標”(比如一個特殊形狀的大顆粒、一個孔洞等)。

第三步:逐級放大,縮小包圍圈

找到大致區域后,逐步提高倍率(例如從200x -> 500x -> 1000x)。

每次提高倍率后,圖像視野會變小,你需要再次微調樣品臺,將你認為的目標置于屏幕中心。

重復這個過程,直到在你的視野中找到想要觀察的微觀結構。

實用技巧與注意事項

使用低分辨率/快速掃描模式: 在低倍率搜尋時,可以使用較快的掃描速度(較低的掃描分辨率),這樣圖像刷新快,便于你快速瀏覽大面積區域。

善用“圖片導航”或“地圖”功能: 許多現代電鏡軟件有“Map”或“Navigation”功能。它可以先拍一張低倍率的大視野“地圖”,然后你可以在“地圖”上直接點擊感興趣的點,電鏡會自動將樣品臺移動到該點進行高倍觀察。

控制移動速度: 開始搜尋時,樣品臺移動速度可以快一些;越接近目標,移動速度要調得越慢,以免“飛”過頭。

注意工作距離: 確保你的工作距離(WD)設置正確。工作距離太短或太長都會影響視野和成像質量。

保持耐心: 找位置是一個需要耐心和經驗的過程。第一次可能會花很長時間,但隨著操作次數的增加,你會越來越熟練。


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作者:澤攸科技