掃描電鏡需要在真空環(huán)境下工作，主要有以下幾個(gè)原因：

避免電子散射

電子束在空氣中會(huì)和空氣分子頻繁碰撞，發(fā)生散射，導(dǎo)致束流發(fā)散、能量損失，無(wú)法形成清晰的聚焦點(diǎn)。真空環(huán)境能減少這種散射，使電子束保持穩(wěn)定和高能量。

延長(zhǎng)電子槍壽命

電子槍（特別是熱發(fā)射和場(chǎng)發(fā)射源）對(duì)氣氛敏感，空氣或水汽會(huì)污染、氧化發(fā)射源，降低發(fā)射效率甚至損壞電子源。真空能有效保護(hù)電子槍。

保證信號(hào)探測(cè)準(zhǔn)確

在非真空條件下，空氣分子會(huì)與樣品二次電子、背散射電子等信號(hào)相互作用，造成信號(hào)衰減或噪聲增加。真空環(huán)境能保證探測(cè)器接收到真實(shí)的樣品信號(hào)。

避免樣品表面反應(yīng)

部分樣品在空氣中容易氧化、吸濕或被污染。真空環(huán)境能降低這些表面反應(yīng)，保證成像的可靠性。

維持系統(tǒng)清潔

空氣中的灰塵或雜質(zhì)進(jìn)入電子光學(xué)系統(tǒng)，會(huì)影響電鏡真空度和成像質(zhì)量。真空環(huán)境能減少這種風(fēng)險(xiǎn)。