在掃描電鏡（SEM）里，圖像是通過電子束掃描和信號采集生成的，像素大小與放大倍數(shù)和工作條件直接相關。因此，掃描電鏡的確可以用來測量尺寸，但準確度取決于以下幾點：

1. 標尺校準

掃描電鏡圖像通常會自帶比例尺（scale bar），這是基于儀器的放大倍數(shù)和掃描參數(shù)計算出來的。

在正式測量前，可以用已知尺寸的標準樣品（例如金屬網(wǎng)格或球形顆粒）進行校準，確保比例尺準確。

2. 測量方式

可以直接利用軟件工具，在圖像上用比例尺換算尺寸。

現(xiàn)代掃描電鏡控制軟件一般提供“測距”功能，點取兩個位置即可得到距離。

3. 影響因素

放大倍數(shù)和分辨率：放大越高，像素大小越小，測量更準確。

樣品傾斜：如果樣品表面不是垂直于電子束，測量會出現(xiàn)幾何畸變。

像差與充電效應：會導致邊緣模糊，影響判定邊界的位置。

掃描非線性：電子束掃描在大視場下可能稍有畸變。

4. 適用范圍

掃描電鏡適合測量 納米到微米尺度的長度、顆粒直徑、厚度、間距 等。

對于三維厚度或埋藏結(jié)構(gòu)，SEM 不能直接測量，只能結(jié)合樣品制備或其它技術(shù)（如 FIB、TEM、AFM）來輔助。