掃描電鏡（SEM）圖像模糊通常是由于聚焦不準(zhǔn)或像散（Astigmatism）未校正所致。以下是系統(tǒng)性的調(diào)焦步驟和技巧：

1. 初步檢查與準(zhǔn)備

確認(rèn)樣品穩(wěn)定性：確保樣品牢固固定，無(wú)振動(dòng)（檢查樣品臺(tái)、環(huán)境振動(dòng)）。

清潔度檢查：

電子槍、光闌、樣品室是否污染？污染會(huì)導(dǎo)致像散或信號(hào)不穩(wěn)定。

若懷疑污染，執(zhí)行鏡筒和光闌的等離子清洗或更換光闌。

2. 基礎(chǔ)調(diào)焦步驟

(1) 選擇合適的工作距離（WD）

高分辨率模式：縮短WD（如5~8mm），提升分辨率。

大視野模式：增加WD（如10~15mm），犧牲部分分辨率換取更大視野。

調(diào)整方法：通過(guò)樣品臺(tái)Z軸控制WD，觀察圖像清晰度變化。

(2) 粗聚焦（Coarse Focus）

使用低放大倍數(shù)（如1k~5kX），找到樣品表面特征（如邊緣、顆粒）。

調(diào)節(jié)聚焦旋鈕（Focus Knob）直至圖像輪廓清晰。

技巧：快速來(lái)回微調(diào)焦點(diǎn)，通過(guò)動(dòng)態(tài)對(duì)比確定位置。

(3) 細(xì)聚焦（Fine Focus）

切換到高放大倍數(shù)（如10k~50kX），重復(fù)微調(diào)聚焦。

注意：高倍數(shù)下聚焦敏感度更高，需緩慢調(diào)節(jié)。

3. 像散校正（關(guān)鍵！）

像散是導(dǎo)致圖像“單向模糊”或“拖尾”的主因，需通過(guò)消像散器（Stigmator）校正：

(1) 識(shí)別像散特征

圖像在某一方向模糊（如水平模糊但垂直清晰），旋轉(zhuǎn)樣品時(shí)模糊方向改變。

高倍下觀察顆粒是否呈現(xiàn)橢圓形或分裂成雙重像。

(2) 校正步驟

選擇高放大倍數(shù)（≥20kX）和快速掃描速率（Fast Scan），便于實(shí)時(shí)觀察。

調(diào)節(jié)X/Y消像散旋鈕（Stigmator X/Y）：

交替調(diào)整X和Y，使顆粒或邊緣從“橢圓形”恢復(fù)為“圓形”。

重復(fù)微調(diào)聚焦與消像散，直至圖像銳利。

4. 優(yōu)化技巧

動(dòng)態(tài)聚焦（Dynamic Focus）：

對(duì)不平整樣品，啟用動(dòng)態(tài)聚焦功能（如有），補(bǔ)償不同高度區(qū)域的焦點(diǎn)差異。

自動(dòng)聚焦功能：

部分SEM配備自動(dòng)聚焦（Auto Focus），但手動(dòng)調(diào)整更準(zhǔn)確，尤其對(duì)復(fù)雜樣品。

信號(hào)優(yōu)化：

調(diào)整對(duì)比度/亮度，避免信號(hào)過(guò)飽和或不足影響聚焦判斷。

使用二次電子（SE）信號(hào)調(diào)焦（比背散射電子BSE更敏感）。