在掃描電鏡（SEM）成像過程中，調整焦距（Focus）是獲得清晰圖像的關鍵步驟。焦距的實質，是調整電子束與樣品表面交匯的焦點位置，以獲得銳利的圖像細節。以下是詳細的調整方法與注意事項：

一、焦距調整的基本方式

使用“Focus”旋鈕或軟件按鈕

絕大多數掃描電鏡配有：

粗調（Coarse Focus）

細調（Fine Focus）

建議先用粗調接近清晰，再用細調精細調整。

通過調整工作距離（Working Distance, WD）影響焦點

焦距和工作距離密切相關。較短的工作距離有助于高分辨率，但景深較淺；較長的工作距離景深更大，但分辨率略低。

在部分電鏡中，焦距調節會自動調整工作距離。

二、操作流程

選用適當加速電壓

一般建議中等電壓（如 5–15 kV）獲得初始圖像，更容易找到焦點。

將樣品移動到目標區域

先用低倍率（如 100x、500x）找到目標區域。

切換到中倍率或高倍率

焦點在高倍率下更容易判斷清晰與否。建議在 1000x–5000x 做精細調焦。

調節聚焦（Focus）旋鈕

緩慢調節，使圖像邊緣、紋理等清晰為準。

若圖像模糊無改善，檢查是否高度未調平或樣品未貼平。

可使用動態聚焦模式（if available）

有些 SEM 提供自動聚焦（Auto Focus）功能，也可以輔助快速找到焦點，但精調仍需手動完成。

三、調焦時的注意事項

避免圖像漂移或抖動干擾判斷：建議在電鏡穩定后操作；

對高放大倍率圖像調焦困難時：

可先在較低倍率聚焦后再逐級放大，分步調焦；

樣品表面不平整時：建議以主要觀察區域為焦點，或使用“傾斜樣品臺”優化觀察角度；

非導體樣品調焦困難：可能因充電效應模糊圖像，應考慮鍍膜或降低電壓。