掃描電鏡（SEM）成像過程中出現的偽影（artifact）是影響圖像質量和判讀準確性的重要問題。偽影通常來源于樣品準備、設備設置、電子束參數或環境因素，以下是常見類型和其成因：

1. 充電偽影（Charging Artifacts）

表現：圖像發亮、發暗、漂移、閃爍，邊緣模糊，甚至出現條紋、波浪或黑斑。

成因：非導電樣品或未鍍膜的絕緣體在電子束轟擊下積累電荷。

解決方法：噴金/噴碳處理樣品、降低束流、使用低真空模式或ESEM。

2. 條紋/漂移偽影（Drift/Streaking）

表現：圖像沿掃描方向拉伸或扭曲，出現拖尾或鋸齒。

成因：樣品機械移動、環境振動、熱膨脹、電子束掃描不穩定等。

解決方法：提高穩定性，延長掃描時間，使用抗震平臺，降低加速電壓。

3. 污染偽影（Contamination Artifacts）

表現：圖像出現不規則的陰影、膜狀或塊狀覆蓋物，逐幀變暗。

成因：電子束在真空腔中的有機殘留、油蒸汽或樣品脫氣物上引發沉積。

解決方法：清潔樣品和樣品臺、預抽真空充分、降低束流、使用冷阱。

4. 電磁干擾偽影（EMI）

表現：周期性波紋、周期性亮暗條紋或不規則明暗帶。

成因：周圍電氣設備干擾（如熒光燈、泵、變壓器等）。

解決方法：檢查并隔離干擾源，穩定電源，使用電磁屏蔽。

5. 掃描畸變（Scan Distortion）

表現：圖像比例不一致、變形、邊緣彎曲。

成因：電子束掃描系統校準誤差或數字處理延遲。

解決方法：重新校正掃描比例，檢查軟件設置。

6. 信噪比不足偽影

表現：圖像顆粒感強、背景雜亂、有明顯噪點。

成因：信號電子數量不足，探測器靈敏度低，束流太小。

解決方法：增加積分時間、提高束流或加速電壓，優化探測器設置。

7. 樣品運動或抖動偽影

表現：圖像模糊、出現“重影”或跳動感。

成因：樣品未固定牢固、樣品臺故障、外部振動。

解決方法：加固樣品，檢查樣品臺穩定性，使用防震系統。