調(diào)整掃描電鏡（SEM）的電子束電流（Beam Current）可以影響成像的分辨率、信噪比和樣品損傷程度。以下是調(diào)整電子束電流的方法及其影響：

1. 通過(guò)透鏡孔徑（Aperture）調(diào)整

電子束通過(guò)透鏡孔徑時(shí)，較小的孔徑會(huì)減少束流，提高分辨率但降低信號(hào)強(qiáng)度。

增大孔徑可以提高電子束電流，從而增強(qiáng)信號(hào)，但可能會(huì)降低分辨率。

操作步驟：

進(jìn)入 SEM 控制界面，找到 Aperture Size 選項(xiàng)。

選擇較小的孔徑以提高分辨率，或選擇較大的孔徑以增加電流。

2. 通過(guò)槍電流（Gun Current）調(diào)整

電子束的發(fā)射源（如鎢絲、LaB? 或場(chǎng)發(fā)射源）決定了初始電子數(shù)量。

通過(guò)調(diào)整發(fā)射源的 Filament Current 或 Emission Current 可以控制電子束電流。

操作步驟：

進(jìn)入 SEM Gun Control 界面。

增大 Filament Current 可提高束流，但可能增加電子源消耗。

適量減少可降低樣品充電效應(yīng)和損傷。

3. 通過(guò)聚光透鏡（Condenser Lens）調(diào)整

聚光透鏡控制電子束的聚焦程度，影響束流大小和束斑尺寸。

增強(qiáng)透鏡強(qiáng)度會(huì)減少束流，提高分辨率但降低信號(hào)強(qiáng)度。

降低透鏡強(qiáng)度會(huì)增加束流，提高信號(hào)但可能降低分辨率。

操作步驟：

進(jìn)入 Beam Settings，調(diào)整 Condenser Lens Strength。

適當(dāng)調(diào)整以平衡信號(hào)強(qiáng)度與分辨率。

4. 通過(guò)掃描倍率調(diào)整（僅影響局部電流）

在較高倍率下，電子束覆蓋的范圍變小，局部電子束電流密度增加。

在低倍率下，電流密度較低，成像信號(hào)較弱。

操作步驟：

適當(dāng)調(diào)整 Magnification，選擇合適的掃描范圍。

以上就是澤攸科技小編分享的如何調(diào)整掃描電鏡的電子束電流。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請(qǐng)咨詢