在掃描電鏡（SEM）中，探針的聚焦對圖像的質量至關重要。若圖像質量差，可能是由于電子束的聚焦不正確或探針的參數設置不合適。通過調節探針的聚焦，可以顯著提高圖像的分辨率和清晰度。以下是調節探針聚焦的具體步驟：

1. 檢查電子束電流和加速電壓

電子束電流（Probe current）：低的電子束電流可能導致圖像信噪比差，導致圖像模糊。提高電流可以增強圖像的亮度和對比度，但過高的電流可能導致樣品損傷。需要平衡設置，確保電流適中。

加速電壓（Accelerating voltage）：加速電壓影響電子束的穿透能力和樣品的信號強度。較低的加速電壓通常可以提高表面分辨率，但穿透力較弱；較高的加速電壓有助于改善深層樣品的成像，但表面細節可能變得不清晰。根據樣品的需求調整電壓，通常保持在5kV到30kV之間。

2. 調節聚焦控制（Condenser lens）

聚焦鏡頭（Condenser lens）：掃描電鏡的聚焦是通過調節聚焦鏡頭的光圈大小和焦距來實現的。過于散開的電子束會導致圖像模糊，因此需要精確調節聚焦鏡頭來確保電子束的聚焦。

聚焦過程：在控制面板上選擇聚焦模式（通常有“焦距調節”或者“焦距調整”選項）。

逐步調節聚焦鏡頭，直到圖像中的細節變得清晰，邊緣更加銳利。

注意細節：通常聚焦過度會導致圖像中的細節變得過于緊密，而聚焦不足會導致圖像模糊不清。

3. 使用掃描速率調整圖像質量

掃描速率（Scan speed）：圖像質量和掃描速率緊密相關。使用較慢的掃描速率可以提供更清晰、更高質量的圖像，尤其是在低倍率下。調整掃描速率，確保圖像足夠清晰。

影響因素：在高掃描速率下，電子束在樣品表面移動較快，可能導致圖像的顆粒感和噪聲增加。減少掃描速率可以提高圖像的穩定性和質量。

4. 調節工作距離（Working distance）

工作距離（Working distance, WD）**是探針到樣品的距離，它對聚焦非常關鍵。一般來說，較短的工作距離可以提高聚焦的精度和分辨率。較長的工作距離可能導致圖像失焦，尤其是在高放大倍率下。

調整步驟：通常可以在掃描電鏡的界面中調整工作距離。在圖像調整過程中，逐步減小工作距離，觀察圖像的變化，直到高質量的圖像。

5. 優化探針和樣品的對準

電子束對準（Electron beam alignment）：確保電子束在掃描過程中完全對準樣品表面。任何偏移或不對稱的電子束會導致圖像變形或不清晰。

樣品對準：在掃描電鏡中，樣品的放置和固定也會影響聚焦效果。確保樣品放置穩定，并且在正確的位置。

6. 使用圖像放大倍率調整聚焦

高倍率下的聚焦：在高倍率下，圖像的清晰度和細節對焦非常敏感。進行聚焦調整時，可以放大圖像到合適的倍率，細致觀察圖像質量，并進行微調。

低倍率下的聚焦：在低倍率下，圖像的調節可以更為粗略，主要是檢查圖像的亮度、對比度以及宏觀聚焦的情況。

7. 校準電子束

束流校準：如果圖像質量仍然不理想，可以考慮通過電子束校準來進行調整。某些掃描電鏡設備提供自動校準功能，可以通過此功能使電子束的聚焦更加精確。

8. 檢查樣品的表面狀態

表面粗糙度和污染：樣品表面不平整或者污染物的存在也會影響聚焦效果。表面粗糙或被污染的樣品可能導致散射電子過多，造成圖像失真。清潔樣品表面，去除污染物，并檢查表面質量，有助于提高聚焦效果。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡圖像質量差時，如何調節探針的聚焦。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢