在掃描電鏡 (SEM) 中，優化樣品的傾斜角度可以顯著影響圖像質量、表面特征的觀察效果，以及元素分析的準確性。以下是優化樣品傾斜角度的具體方法和注意事項：

1. 確定優化傾斜角度的目標

根據實驗需求調整傾斜角度：

表面形貌觀察：通常使用較小的傾斜角（如 0°-10°）以獲得清晰的表面細節。

立體感增強：增加傾斜角（如 30°-45°）可以增強表面形貌的立體感。

能量色散光譜 (EDS) 分析：傾斜角為 70°，因為高角度傾斜有助于提高 X 射線的探測效率。

斷口分析：樣品傾斜角通常設置為 90°，以垂直觀察斷裂表面。

2. 調整傾斜角度的具體操作

安裝樣品：

將樣品固定在樣品臺上，確保樣品牢固且平穩。

使用適配器（如傾斜樣品夾）以便更方便地調整角度。

初步調整：

在 SEM 控制軟件中，選擇適當的工作距離 (WD) 和放大倍數。

初始傾斜角設置為 0°，以便觀察樣品表面整體分布。

逐步調整傾斜角：

使用樣品臺的傾斜功能，緩慢增加傾斜角度。

每次調整后，觀察圖像質量變化，確保樣品的關鍵區域始終在焦點范圍內。

重新聚焦和對中：

調整傾斜角后，樣品可能偏離中心或失去焦點。

使用 SEM 的 Z 軸調整 或 對中功能，重新對準樣品的目標區域。

使用 動態聚焦功能，確保傾斜后圖像的清晰度。

3. 注意事項

避免過大傾斜角：

傾斜角過大（>70°）可能導致：圖像失真或邊緣模糊。

樣品的電荷累積問題，特別是非導電樣品。

樣品遮擋，影響其他區域的觀察或分析。

考慮樣品高度：

樣品傾斜時，確保樣品不會與 SEM 的物鏡或探測器發生碰撞。

選擇合適的工作距離 (WD) 以避免機械干涉。

導電性和鍍膜：

非導電樣品在傾斜時更容易積累電荷，建議進行導電處理（如鍍金或鍍碳）。

多次實驗驗證：

不同樣品的傾斜角可能不同，通過多次實驗找到適合角度。

以上就是澤攸科技小編分享的如何在掃描電鏡中優化樣品的傾斜角度。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢