在掃描電鏡（SEM）中，樣品受熱損傷是一個(gè)常見(jiàn)問(wèn)題，特別是在高電流、高加速電壓或長(zhǎng)時(shí)間掃描下，電子束會(huì)產(chǎn)生大量熱量，可能導(dǎo)致樣品表面損傷或形變。為了避免或減輕掃描電鏡樣品的熱損傷，可以采取以下措施：

1. 調(diào)節(jié)電子束電流和加速電壓

高電流和高加速電壓會(huì)產(chǎn)生更多的熱量，因此合理調(diào)整這些參數(shù)，可以有效減少熱損傷。

方法：

降低電子束電流：通過(guò)降低掃描電流，可以減小樣品受熱的程度。對(duì)于一些較為敏感的樣品，使用較低的電流進(jìn)行掃描。

降低加速電壓：高加速電壓會(huì)使電子束攜帶更多能量，從而釋放更多的熱量。適當(dāng)降低加速電壓（例如，使用5-10kV的電壓而不是30kV）可以減少樣品的熱負(fù)荷。

選擇適當(dāng)?shù)膾呙枘Ｊ剑哼x擇適合樣品的掃描模式（例如，減少掃描頻率或減少圖像分辨率）也有助于降低加熱。

2. 使用低電流、高掃描速度模式

電子束掃描時(shí)間長(zhǎng)會(huì)導(dǎo)致熱積累，因此通過(guò)增加掃描速度，可以減少樣品的加熱時(shí)間。

方法：

提高掃描速度：選擇更高的掃描速度，減少每個(gè)像素所占用的時(shí)間，從而降低電子束在樣品表面停留的時(shí)間，減輕熱積累。

減少圖像放大倍數(shù)：較高的圖像放大倍數(shù)會(huì)導(dǎo)致電子束在樣品表面停留時(shí)間較長(zhǎng)，因此可以通過(guò)減少放大倍數(shù)來(lái)減少熱損傷。

3. 使用低真空或場(chǎng)發(fā)射電子槍（FEG）

傳統(tǒng)的掃描電鏡使用的電子槍在工作時(shí)會(huì)發(fā)射較高能量的電子束，可能導(dǎo)致樣品熱損傷。使用場(chǎng)發(fā)射電子槍（FEG）可以提供較為集中的電子束，減少熱效應(yīng)。

方法：

低真空掃描模式：在低真空模式下，樣品與空氣的相互作用較少，能量損失較少，因此可能降低熱損傷。

使用場(chǎng)發(fā)射電子槍：場(chǎng)發(fā)射電子槍（FEG）可以提供更小、集中的電子束，避免高能電子束在大面積區(qū)域散布，減少熱量產(chǎn)生。

4. 使用冷卻系統(tǒng)

對(duì)于熱敏感樣品，可以使用冷卻系統(tǒng)將樣品表面溫度控制在安全范圍內(nèi)。很多掃描電鏡都配備有冷凍臺(tái)或冷卻裝置，用于降低樣品溫度。

方法：

冷凍樣品臺(tái)：通過(guò)將樣品冷卻到低溫（例如，使用液氮冷卻）來(lái)減少熱損傷。許多掃描電鏡系統(tǒng)都提供液氮冷卻臺(tái)，可以有效控制樣品溫度。

樣品冷卻器：對(duì)于需要長(zhǎng)時(shí)間掃描或加大掃描面積的樣品，可以使用冷卻器或熱電冷卻裝置來(lái)降低樣品的溫度，避免過(guò)熱。

5. 使用適當(dāng)?shù)膶?dǎo)電涂層

對(duì)于非導(dǎo)電樣品，通常會(huì)使用導(dǎo)電涂層（如金、鉑或碳涂層）來(lái)提高其導(dǎo)電性。涂層不僅能提高圖像質(zhì)量，還能有效分散樣品表面的熱量，減少熱損傷。

方法：

均勻涂覆導(dǎo)電材料：使用金屬或碳基材料均勻涂覆樣品表面，能夠增加熱傳導(dǎo)，幫助樣品更好地散熱。

選擇薄涂層：涂層過(guò)厚可能會(huì)在某些情況下反而影響熱傳導(dǎo)，因此應(yīng)根據(jù)樣品特性選擇合適的涂層厚度。

6. 合理選擇掃描區(qū)域

選擇樣品上較為穩(wěn)定且不易受熱損傷的區(qū)域進(jìn)行掃描，以減少熱效應(yīng)對(duì)敏感區(qū)域的影響。

方法：

避開(kāi)樣品的薄弱區(qū)域：例如，在掃描較為脆弱的區(qū)域時(shí)，應(yīng)該選擇較低的電子束電流和加速電壓，避免過(guò)多的熱量積聚。

分區(qū)域掃描：通過(guò)分區(qū)域掃描，可以降低每次掃描時(shí)樣品的熱負(fù)荷。

7. 進(jìn)行熱管理模擬與優(yōu)化

在掃描前進(jìn)行熱管理的模擬，評(píng)估不同條件下樣品可能的熱效應(yīng)，進(jìn)而調(diào)整掃描參數(shù)。

方法：

熱模擬軟件：使用熱模擬軟件來(lái)預(yù)測(cè)不同掃描條件下樣品表面的溫度分布，優(yōu)化掃描參數(shù)，避免過(guò)熱。

實(shí)驗(yàn)測(cè)試：通過(guò)實(shí)驗(yàn)觀察不同掃描條件下樣品的熱損傷情況，調(diào)整掃描策略，避免樣品受熱損傷。

8. 適當(dāng)?shù)臉悠窚?zhǔn)備

有些樣品在SEM中掃描時(shí)自然較容易受熱損傷，特別是一些含水的生物樣品或聚合物材料。適當(dāng)?shù)臉悠窚?zhǔn)備可減少這種風(fēng)險(xiǎn)。

方法：

脫水和干燥樣品：對(duì)于生物樣品，可以先進(jìn)行脫水和干燥處理，以避免水分對(duì)樣品造成的熱膨脹損傷。

選擇合適的處理方法：對(duì)于脆弱材料，可以選擇先進(jìn)行特殊處理（如真空干燥或低溫冷凍），然后再進(jìn)行SEM分析。

以上就是澤攸科技小編分享的如何避免掃描電鏡樣品受熱損傷。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請(qǐng)咨詢