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掃描電子顯微鏡的操作步驟與注意事項(xiàng)

日期：2021-04-19

ZEM臺(tái)式掃描電鏡使用操作步驟，很多老師拿到掃描電鏡后，不是特別清楚如何使用，今天澤攸科技小編為大家介紹一下ZEM臺(tái)式掃描電鏡的使用方法。

一、使用臺(tái)式掃描電鏡拍攝低倍圖像方法

1、啟動(dòng)并放入樣品，將真空抽至0.01并保持至開(kāi)槍按鈕常亮后，然后點(diǎn)擊開(kāi)槍按鈕。

圖一：臺(tái)式掃描電鏡開(kāi)槍按鈕

2、按照需要設(shè)定電壓值。并將"光斑直徑"調(diào)整至"粗"或者"中"，勾選"自適應(yīng)"按鈕，調(diào)整"亮度""對(duì)比度"，至出現(xiàn)較為明亮的圖像。后粗調(diào)"聚焦"條，至顯示較為清晰的圖像，然后將樣品臺(tái)移動(dòng)到想要拍照的樣品上。

圖二：臺(tái)式掃描電鏡步驟前后圖像對(duì)比

3、低倍數(shù)下有了較為清晰圖像后。將倍數(shù)放大至大于要拍攝倍數(shù)后（比如要拍攝1000倍，放大至5000或10000），將"平均"點(diǎn)數(shù)切換至5，然后將光標(biāo)放至"聚焦微調(diào)"圓鈕上，緩慢滾動(dòng)滾輪，調(diào)整至圖像清晰位置。然后切換至"鏡組配置"，依次調(diào)整四個(gè)"消像散"條，至圖像清晰為止。

用臺(tái)式掃描電鏡拍幾千倍的圖可根據(jù)樣品信號(hào)強(qiáng)度選擇光斑直徑中或者細(xì)來(lái)拍照。

圖三：使用臺(tái)式掃描電鏡調(diào)整倍數(shù)具體操作

4、上述工作完成后，將倍數(shù)調(diào)整至所需拍照倍數(shù)。選擇合適的采集幀數(shù)和平均點(diǎn)數(shù)后，拍照（關(guān)閉十字準(zhǔn)心）。

圖四：臺(tái)式掃描電鏡調(diào)整好倍數(shù)圖

圖五：500倍臺(tái)式掃描電鏡拍攝圖

圖六：2000倍臺(tái)式掃描電鏡拍攝圖

圖七：5000倍臺(tái)式掃描電鏡拍攝圖

圖八：10000倍臺(tái)式掃描電鏡拍攝圖

二、使用臺(tái)式掃描電鏡拍攝高倍圖片方法

臺(tái)式掃描電鏡拍攝樣品設(shè)置

重復(fù)前述臺(tái)式掃描電鏡低倍拍攝步驟，找到所需拍攝的樣品。

圖二：臺(tái)式掃描電鏡調(diào)整細(xì)節(jié)

將光斑直徑保持為細(xì)，開(kāi)啟十字準(zhǔn)心，調(diào)焦至能看到所需拍攝的細(xì)節(jié)后，開(kāi)啟搖擺對(duì)中，調(diào)節(jié)對(duì)中條，至準(zhǔn)心與圖像相對(duì)位置同心縮放。而后調(diào)節(jié)像散至圖像至圖像清晰處（此步驟時(shí)可將基礎(chǔ)欄中視頻設(shè)置的平均點(diǎn)數(shù)調(diào)整為4，以便得到清晰圖像）。

圖三：臺(tái)式掃描電鏡調(diào)整光斑

完成上述步驟后，將"光斑直徑"調(diào)至"極細(xì)"。將"平均"點(diǎn)數(shù)設(shè)置為5，微調(diào)聚焦旋鈕至圖像清晰處，配置好所需的拍照參數(shù)（此時(shí)可以選擇將平滑按鈕勾選）后，拍照（關(guān)閉十字準(zhǔn)心）。

圖四：50000倍臺(tái)式掃描電鏡拍攝圖

圖五：50000倍臺(tái)式掃描電鏡拍攝圖

圖六：30000倍臺(tái)式掃描電鏡拍攝圖

三、臺(tái)式掃描電鏡切換SE模式拍攝圖片方法

圖一：調(diào)整臺(tái)式掃描電鏡SE模式

點(diǎn)擊"基礎(chǔ)"選項(xiàng)卡，點(diǎn)擊"se"切換se模式，輸入合適的"收集電壓"（zui大不能超過(guò)8000），等待數(shù)秒，拖動(dòng)"se增益"條至合適的位置。調(diào)至zui佳位置可用se模式觀察拍照。"拍照設(shè)置"中"幀平均"拍照的效果如果不理想，可切換至"點(diǎn)平均"（可根據(jù)實(shí)際拍照情況切換），"點(diǎn)平均"拍照完成需點(diǎn)擊"保存"按鈕。"點(diǎn)平均"不受"采集幀數(shù)"和"平均點(diǎn)數(shù)"影響。

圖二：500倍臺(tái)式掃描電鏡拍攝圖