澤攸科技PicoFemto掃描電鏡原位MEMS氣氛臺，將MEMS氣氛環(huán)境微腔和加熱模塊集成到掃描電鏡樣品臺上，在掃描電鏡中制造可控的氣氛環(huán)境并且可以對實(shí)驗(yàn)樣品原位加熱。該系統(tǒng)允許研究者在氣氛環(huán)境中原位、動態(tài)、高分辨地對樣品的形貌結(jié)構(gòu)和化學(xué)組分進(jìn)行綜合表征，大大拓展了掃描電鏡的功能與應(yīng)用領(lǐng)域。該產(chǎn)品可使研究者可以在掃描電鏡中實(shí)時(shí)觀測催化反應(yīng)、氧化還原反應(yīng)、低維材料生長/合成以及各類腐蝕反應(yīng)，將您的掃描電鏡從一臺靜態(tài)成像工具升級為一套功能強(qiáng)大的納米實(shí)驗(yàn)室。

? 掃描電鏡指標(biāo)：

▲ 兼容指定類型電鏡

▲ 保證電鏡原有的真空度

▲ MEMS反應(yīng)微腔指標(biāo)

▲ 超薄氮化硅膜窗口

▲ 樣品漂移優(yōu)于0.7 nm/min

? 熱學(xué)指標(biāo)：

▲ 溫度范圍：室溫到800 °C 

▲ 溫度穩(wěn)定性：優(yōu)于0.1 ℃

? 氣體流動指標(biāo)：

▲ 三通道混氣

▲ 氣壓范圍：0-1 bar

▲ 可通氣體：H2、N2、02、He、CO、CO2、CxHy

▲ 氣體流速：≥0.1 sccm

▲ 流速范圍：1 sccm×3（N2）

▲ 控壓范圍：100 mbar-1000 bar 

▲ 軟件控制