澤攸科技的JS10B臺階儀是一款高精度、高分解能力的手動臺階儀，以其一體花崗巖結(jié)構(gòu)提供穩(wěn)定可靠的重復(fù)性測量。該設(shè)備配備彩色攝像頭，能夠同時(shí)對樣品和針尖進(jìn)行成像，實(shí)現(xiàn)無畸變的觀察樣品區(qū)，方便用戶精確定位特征區(qū)域。在探針掃描過程中，用戶可以實(shí)時(shí)觀察掃描區(qū)域，這大大提高了操作的便捷性和測量的準(zhǔn)確性。

臺階儀可以對微納結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和臺階高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量，在高校、研究實(shí)驗(yàn)室和研究所、半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機(jī)電、觸摸屏、汽車、醫(yī)療設(shè)備等行業(yè)領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用。

長期以來，這一領(lǐng)域被國外產(chǎn)品壟斷。而澤攸科技自主研發(fā)的JS系列高精度臺階儀，憑借突破性的關(guān)鍵技術(shù)，打破了國外壟斷，是半導(dǎo)體國產(chǎn)化進(jìn)程中不可或缺的一環(huán)。 

特點(diǎn)

量測精確、操作便捷、體積小巧、超高性價(jià)比

應(yīng)用范圍

▲ 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量

▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數(shù)測量

▲ 各式薄膜等應(yīng)力測量

系統(tǒng)組成

▲ 臺階儀主機(jī)

▲ 電腦及顯示器

選配品

▲ 隔振臺

▲ 高度校準(zhǔn)標(biāo)樣

技術(shù)參數(shù)

軟件界面

掃描圖

18nm樣品

68um樣品