透射電子顯微鏡原位TEM-STM測量系統是在標準外形的透射電鏡樣品桿內加裝掃描探針控制單元，通過探針對單個納米結構進行操縱和電學測量，并可在電學測量的同時，動態、高分辨地對樣品的晶體結構、化學組分、元素價態進行綜合表征，大大地擴展了透射電子顯微鏡的功能與應用領域。

透射電鏡原位STM-TEM力電一體測量系統是在標配STM-TEM樣品桿內集成納牛力傳感器，實現高精度的力學及電學測量。

性能指標
 

 透射電鏡指標：

● 兼容指定電鏡型號及極靴；

● 可選雙傾版本，雙傾電學測量樣品桿Y軸傾角±25°（同時受限于極靴間距）；

● 保證透射電鏡原有分辨率。

電學測量指標：

● 包含一個電流電壓測試單元；

● 電流測量范圍：１ nA-30 mA，9個量程；

● 電流分辨率：優于100 fA；

● 電壓輸出范圍：普通模式±10 V，高壓模式±150 V；

● 自動電流-電壓（I-V）測量、電流-時間（I-t）測量，自動保存。

掃描探針操縱指標：

● 粗調范圍：XY方向2.5 mm，Z方向1.5 mm；

● 細調范圍：XY方向18 um，Z方向1.5 um；

● 細調分辨率：XY方向0.4 nm，Z方向0.04 nm。

力學傳感器指標：

● 懸臂梁彈性范圍1 N/m~100 N/m；

● 載荷分辨率優于5 nN（使用1 N/m懸臂梁時）；

● 自動測量力-距離曲線，自動保存。

產品特色
 

（1）可保證電鏡原有分辨率，即使在球差內也可以拍到清晰原子像；

（2）良好的操縱穩定性，壓電陶瓷驅動方式，保證高精度的操縱。樣品桿具有很高的穩定性  ，探針移動平穩，實現高分辨原位觀察實驗；

（3）操作簡便，軟件界面友好易操作。控制器集成電流電壓測試單元，滿足大多數實驗需求。位移粗調和細調全軟件操作；