在掃描電鏡觀察中，電子束可能會對樣品造成熱效應或電荷累積，從而引發結構改變。及時判斷樣品是否被電束損傷，有助于調整參數并保護樣品。

掃描電鏡判斷樣品是否被電束損傷的方法

圖像出現形變或塌陷

觀察到纖維塌縮、結構熔化、邊緣軟化等形態變化，通常是熱損傷或束斑長期停留造成的。

表面出現亮暗變化

局部區域突然變亮或變暗，說明表面材料特性或形貌已被改變。

樣品逐漸變焦難以維持

原本清晰的焦點逐漸無法再對準，可能是表面結構被破壞導致的焦平面改變。

掃描過程中出現局部凹坑或裂紋

高束流會出現明顯燒蝕痕跡，尤其在聚焦點強烈暴露時更常見。

重復掃描后圖像細節減少

細小結構被電子束破壞后，重復掃描會發現紋理變模糊、孔洞消失或顆粒融合。

帶電樣品的異常電荷釋放現象

若損傷導致導電性變化，可出現突然閃亮、局部放電點等現象。