掃描電鏡（SEM）圖像邊緣模糊的確可能與調焦不當有關，但這只是眾多可能原因之一。下面是一些常見導致圖像邊緣模糊的原因和對應解決方法：

1. 調焦未精準對齊整個視野

原因：SEM 的焦點通常只對準了中心區域，邊緣離焦；

應對：

手動或自動對焦后，移動樣品位置對不同區域重新微調焦距；

使用“Z 軸調節”或“工作距離”微調，確保整個圖像平面都在焦點上。

2. 樣品表面不平或傾斜

原因：樣品傾斜，導致邊緣區域與電子束焦點不在同一平面；

應對：

使用傾斜臺調整樣品角度；

或更換為表面更平整的樣品。

3. 工作距離設置不當

原因：不同工作距離對應不同的景深，如果設置不合適，邊緣會模糊；

應對：

縮短工作距離以提高分辨率；

或根據樣品形狀調整最適景深。

4. 放大倍率過高但聚焦未同步優化

原因：高倍率時圖像更敏感，輕微離焦也會導致模糊；

應對：

增加放大倍率時，重新調焦；

注意使用適當的掃描速度避免噪聲干擾焦點。

5. 電子束發散或透鏡不穩定

原因：鏡頭系統未充分穩定或電磁干擾；

應對：

確保電子束穩定運行；

盡量減少外部電磁干擾源，如移動手機、電風扇、電焊機等。

 6. 樣品表面帶電

原因：非導電樣品未進行金屬鍍膜，邊緣區域電荷積累；

應對：

對樣品進行導電鍍膜（如金、鉑、碳）；

或在低真空模式下觀察以減少充電效應。

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