掃描電鏡中的能譜分析，也稱為EDS，是一種用于分析材料成分的技術。以下是掃描電鏡中EDS的基本原理：

X射線產生： 掃描電鏡中的電子束與樣品相互作用時，會激發樣品中的原子內部電子躍遷。當內部電子躍遷發生時，會產生輻射，其中包括X射線。

能譜采集： EDS系統使用能譜儀器來測量這些X射線的能量。能譜儀器通常由能量分辨率高的半導體探測器組成。當樣品中的原子被激發時，每個元素都會發射特定能量的X射線。

元素識別： 每個元素都有獨特的X射線能譜，因此通過測量X射線的能譜，可以確定樣品中存在的元素種類及其相對豐度。能譜分析允許確定樣品中的主要和痕量元素。

定量分析： EDS系統還可以提供相對濃度信息，使用戶能夠對不同元素的含量進行定量分析。這通常需要使用標準樣品來校準系統。

ZEM20臺式掃描電鏡

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